କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍ସିଂ ହେଉଛି ଏକ PVD ପଦ୍ଧତି ଯାହା ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, ଜିର୍କୋନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ କିମ୍ବା ରୂପା ପରି ବାଷ୍ପୀକରଣ ପାଇଁ ଏକ ଆର୍ ଡିସଚାର୍ଜ ବ୍ୟବହାର କରେ |ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପଦାର୍ଥ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଥିବା ଅଂଶଗୁଡ଼ିକୁ ଆବୃତ କରେ |
ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣର ପ୍ରକାର - ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଜମା |
ସିଲିକନ୍ ଆବରଣ ଏବଂ ଜଟିଳ ଆକାର ବିଶିଷ୍ଟ ଡାକ୍ତରୀ ଉପକରଣ ପାଇଁ ପରମାଣୁ ସ୍ତର ଜମା (ALD) ଆଦର୍ଶ |ଚାମ୍ବରରେ ଉପସ୍ଥିତ ଥିବା ରାସାୟନିକ ପଦାର୍ଥକୁ ବଦଳାଇ ପରମାଣୁ ସଠିକତା ସହିତ ଆବରଣର ରସାୟନ ଏବଂ ଘନତାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ |ଏହାର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଏହା ଅତ୍ୟନ୍ତ ସଂପୂର୍ଣ୍ଣ ଆବରଣ ପ୍ରକାର ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଏପରିକି ଅତି ଜଟିଳ ଆକାର ବିଶିଷ୍ଟ ଅଂଶଗୁଡିକ ପାଇଁ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍ -01-2022 |